µã»÷ÓÒÉϽÇ΢ÐźÃÓÑ
ÅóÓÑȦ
ÇëʹÓÃä¯ÀÀÆ÷·ÖÏí¹¦ÄܽøÐзÖÏí
da ga thomoµ±È»£¬ÕâЩ¸É²¿µÄ¡°ÈçÒâËãÅÌ¡±ËãÂä¿ÕÁË¡£ÖÐÑëÃ÷ȷ˵ÁË£¬È«Ãæ´ÓÑÏÖε³ÓÀÔ¶ÔÚ·ÉÏ£¬Ê®°Ë´óÒÔÀ´Ò»Ð©¹Üµ³Öε³µÄºÃ¾ÑéºÃ×ö·¨£¬»á³£Ì¬»¯¡£ËùÒÔ£¬Ïë²»¸ÉÊÂÒÔ¡°´ý»úÊØʱ¡±µÄ¹ÙÓÍ×ÓÃÇ£¬ÈÕ×Ó²»ºÃ»ìÁË¡£Íõ¾ÃÁ¼µÄ¾µÍ·ÔøÔÚÈÕ±¾¶Ô×¼¹ýÒ»¼Ò»ØÊÕ¿óȪˮƿµÄÆóÒµ¡£Õâ¼ÒÆóÒµÓµÓÐÒ»¸ö¼¸°Ùƽ·½Ã×µÄ¿í³¨³µ¼ä£¬ÓµÓÐÏȽøµÄÖÇÄÜ»¯ºÍÊý¿ØÉ豸¡£ÔÚÉú²úÏßÉÏ£¬ËÜÁÏÆ¿ÒÀ´Î±»·ÛËé¡¢ÇåÏ´¡¢»ØÊÕ¡£³µ¼äÀÍõ¾ÃÁ¼ÕÒ²»µ½ÎÛË®£¬Ò²ÎŲ»µ½´Ì±ÇµÄÆøζ¡£
¾ÝÈÕý17ÈÕ±¨µÀ£¬ÈÕÇ°£¬ÖÐоÒÑÏòÈ«Çò×î´óµÄоƬÉ豸ÖÆÔìÉÌ¡ª¡ªºÉÀ¼ASML¶©¹ºÁËÊ×̨×îÏȽøµÄEUV£¨¼«×ÏÍâÏߣ©¹â¿Ì»ú£¬¼ÛÖµ1.2ÒÚÃÀÔª¡£Ä¿Ç°£¬ÒµÄÚÒÑ´ï³É¹²Ê¶£¬±ØÐëʹÓÃEUV¹â¿Ì»ú²ÅÄÜʹ°ëµ¼ÌåоƬ½øÈë7nm£¬ÉõÖÁ5nmʱ´ú¡£ÏûÏ¢³Æ£¬Õą̂¼¸ºõÏ൱ÓÚÖÐо¹ú¼ÊÈ¥ÄêÈ«²¿¾»ÀûÈóµÄÉ豸£¬½«ÓÚ2019ÄêÇ°½»¸¶¡£¶øÒøº£ÉçÇø½ÖµÀ°ìµÄ¹¤×÷ÈËÔ±Ò²À´µ½ÏÖ³¡Á˽âÇé¿ö£¬ËûÃÇÒªÇóÎïÒµ¹«Ë¾ÊÕ¼¯Ïà¹ØÖ¤¾Ý²ÄÁϺ󣬹²Í¬ÕÙ¼¯ÌìÖþÈûÄÉСÇø1¶°µÄÒµÖ÷ÕÙ¿ª»áÒ飬ÌÖÂÛ½â¾ö·½°¸£¡Áõ½¨¹úÈÏΪ£¬¹ýÈ¥µÄ10Ä꣬¡°ÏÞËÜÁ×î´óµÄ¼ÛÖµ²»ÔÚÓÚÏÞÖÆÁ˶àÉÙ³¬±¡ËÜÁÏ´üµÄ²úÉú£¬¶øÊÇËüͨ¹ý¶ÔËÜÁÏ´üÊÕ·Ñ£¬ÏòÉç»á´«µÝÁË¡°×ÊÔ´Óмۣ¬Ê¹ÓÃ×ÊÔ´ÐèÒª¸¶³ö³É±¾¡±µÄÐźš£
ÆÕ¾©¶Ô¹ú¼ÊͶ×Ê´ú±í˵£º¡°ÔÚ̸»°Ö®Ç°£¬ÎÒÒò²Î»á³Ùµ½ÏòÄãÃǵÀǸ£¬ÎÒ¸Õ½áÊøºÍ·¨¹ú´ú±íÍż°·¨¹ú×ÜͳµÄ»áÃæ¡£¡±ÔÚ¡¶Öйú¼Í¼ì¼à²ì±¨¡·µÄÉÏÊöÎÄÕÂÀÌáµ½ÁËһЩÂäÂí¹ÙÔ±µÄÎ¥¼ÍÇé¿ö¡£±ÈÈ磬¸ÊËàÊ¡À¼ÖÝÊÐίԸ±ÃØÊ鳤½ð½úÕÜÊÇÒÑÂäÂíµÄ¸ÊËàʡίԳ£Î¯¡¢Ô¸±Ê¡³¤Óݺ£ÑàµÄ¡°Ðĸ¹¡±¡£¾ÝÁ˽⣬½ð½úÕÜÒªÇóÄêÇá¸É²¿ÖÒÓÚÓݺ£ÑàºÍ×Ô¼º£¬²¢°´Ã¿¸öÈ˵ÄÖҳ϶ÈÇø·ÖʹÓ᣽ӵ½µç»°µÄÑîÏÈÉúÁ¢¼´À´µ½×Ô¼ºµÄ³µÇ°£¬ÑÛÇ°µÄ¾°Ïó°ÑÑîÏÈÉúÏÅãÂÁË£ºËûÍ£ÔÚÌìÖþÈûÄÉСÇø1¶°ÍâµØÃæÍ£³µ³¡µÄ°®³µ£¬±»Ò»´ó´ü´ÓÌì¶ø½µµÄÀ¬»øÔÒ´©ÁËÌì´°¡£